| Kod# | 503-120J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Boyut(GxDxY) | (1463*940*1591)mm |
| Ağırlık | 780kg |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| Kod# | 502-320G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Boyut(GxDxY) | (1237*740*1664)mm |
| Ağırlık | 380kg |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| Kod# | 502-320J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Boyut(GxDxY) | (1437*940*1664)mm |
| Ağırlık | 750kg |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 500-030 |
|---|---|
| Lens | 0.3X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma Mesafesi | 110 mm |
| Geniş alan | Ø30mm(28x24) |
| Ölçüm doğruluğu | ±2um |
| Kod# | 521-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (608*470) mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1200*1000)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |
| Kod# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Boyut(GxDxY) | (1237*740*1664)mm |
| Ağırlık | 380kg |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 524-120H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
