| Kod# | 525-020D |
|---|---|
| Granit Tezgah | (310*220)mm |
| Cam Tezgah | (179,5*129,5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100)mm |
| Z ekseni hareketi | 100 mm |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 500-200 |
|---|---|
| Görüş alanı | U190*G127*A229mm |
| Z ekseni hareket modu | Otomatik |
| Bilateral telesentrik lensin büyütülmesi | 0,069X |
| Alan derinliği | 10MM |
| Kod# | 525-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (605*450)mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y ekseni hareketi | (400*300)mm |
| Z ekseni hareketi | 200 mm |
| Kod# | 525-020D |
|---|---|
| Granit Tezgah | (310*220)mm |
| Cam Tezgah | (179,5*129,5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100)mm |
| Z ekseni hareketi | 100 mm |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 500-031 |
|---|---|
| Ölçüm aralığı | 300x200x75mm |
| Minimum Birim | 0,1 mikron |
| Kapasite | 5 kg |
| Yüksek Hassasiyet Modu | 26x18mm |
| Kod# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 521-420J |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (650*580) mm |
| Cam Tezgah | (540*440) mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 522-420G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
