| Kod# | 521-420J |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (650*580) mm |
| Cam Tezgah | (540*440) mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 522-420G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |