Kod# | 523-180Q |
---|---|
X/Y Eksen Hareketi | (1800*1200) mm |
Z Eksen Seyahati | 200 mm |
X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
XY Eksen Doğruluğu | ≤3.5+L/200 ((um) |
Kod# | 502-120G |
---|---|
X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
Boyut(GxDxY) | (1237*740*1664)mm |
Ağırlık | 380kg |
Z Eksen Seyahati | 200 mm |
Kod# | 522-180H |
---|---|
X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
Z Eksen Seyahati | 200 mm |
X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |