Kod# | 521-120G |
---|---|
Mermer Tezgah | (458*358) mm |
Cam Tezgah | (356*248)mm |
X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
Kod# | 523-180Q |
---|---|
X/Y Eksen Hareketi | (1800*1200) mm |
Z Eksen Seyahati | 200 mm |
X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
XY Eksen Doğruluğu | ≤3.5+L/200 ((um) |