| Kod# | 523-180Q |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1800*1200) mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.5+L/200 ((um) |
| Kod# | 521-320J |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (650*580) mm |
| Cam Tezgah | (540*440) mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 500-200 |
|---|---|
| Görüş alanı | U190*G127*A229mm |
| Z ekseni hareket modu | Otomatik |
| Bilateral telesentrik lensin büyütülmesi | 0,069X |
| Alan derinliği | 10MM |
| Kod# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (800*600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*500)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Kod# | 523-180R |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (2600*1600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤4.0+L/200(um) |
| Kod# | 523-380J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 528-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1mm |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1.2+L/200 ((um) |
