| Kod# | 521-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (608*470) mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (600*500) mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Granit Sahne | (310*220) mm |
| cam sahne | (179.5*129.5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100) mm |
| X/Y Doğrusal Ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Lens | 0.088X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma Mesafesi | 120MM |
| Geniş alan | Ø116mm (94x76) |
| Ölçüm doğruluğu | ±4um |
| Kod# | 525-180K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1000*1000)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Kod# | 528-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1mm |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1.2+L/200 ((um) |
| Kod# | 528-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1mm |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1.2+L/200 ((um) |
| Kod# | 521-320F |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (408*308) mm |
| Cam Tezgah | (306*198)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (250*150)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 521-420J |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (650*580) mm |
| Cam Tezgah | (540*440) mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
