| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Granit Sahne | (310*220) mm |
| cam sahne | (179.5*129.5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100) mm |
| X/Y Doğrusal Ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Çalışma Sahnesi Seyahati | 355x125mm |
| X/Y Ekseni Hareketi | 200x120mm |
| Z ekseni | 110mm |
| Ölçüm doğruluğu | ≤3+L/200um |
| Kod# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*500)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 529-120h |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 529-120g |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |