| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 525-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (605*450)mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y ekseni hareketi | (400*300)mm |
| Z ekseni hareketi | 200 mm |
| Kod# | 524-120H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 525-020D |
|---|---|
| Granit Tezgah | (310*220)mm |
| Cam Tezgah | (179,5*129,5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100)mm |
| Z ekseni hareketi | 100 mm |
| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kod# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Boyut(GxDxY) | (1237*740*1664)mm |
| Ağırlık | 380kg |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| Kod# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 529-120g |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |
| Kod# | 523-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |
| Kod# | 529-120h |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |