| Kod# | 520-020 |
|---|---|
| tezgah | (245x180)mm |
| Cam Tezgah | (130x130)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (100*100)mm |
| X/Y ekseni çözünürlüğü | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 525-120H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (605*450)mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y ekseni hareketi | (400*300)mm |
| Z ekseni hareketi | 200 mm |
| Kod# | 525-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (605*450)mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y ekseni hareketi | (400*300)mm |
| Z ekseni hareketi | 200 mm |
| Kod# | 525-020D |
|---|---|
| Granit Tezgah | (310*220)mm |
| Cam Tezgah | (179,5*129,5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100)mm |
| Z ekseni hareketi | 100 mm |
| Kod# | 525-020D |
|---|---|
| Granit Tezgah | (310*220)mm |
| Cam Tezgah | (179,5*129,5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100)mm |
| Z ekseni hareketi | 100 mm |
| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Lens | 0.088X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma Mesafesi | 120MM |
| Geniş alan | Ø116mm (94x76) |
| Ölçüm doğruluğu | ±4um |
| Kod# | 523-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Vimea322A | 524-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 524-120H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
