| Kod# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | Yazıcı Dişli Grubu |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0,1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Yazıcı Dişli Grubu |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0,1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-280G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200) mm |
| Z Eksen Seyahati | Yazıcı Dişli Grubu |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0,1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (600*500) mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (800*600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (800*600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1500*1200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 525-020dp |
|---|---|
| Granit aşaması | (310*220) mm |
| Cam aşaması | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Eksen Seyahati | (150*100) mm |
| Doğrusal ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Objektif | 0.088X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma mesafesi | 120mm |
| Geniş alan | Ø116mm (94x76) |
| Ölçüm Doğruluğu | ±4um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Çalışma aşaması seyahati | 355x125mm |
| X/Y ekseni seyahati | 200x120mm |
| Z ekseni | 110 mm |
| Ölçüm Doğruluğu | ≤3+l/200um |