| Kod# | 522-120H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-280G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (600*500) mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (800*600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (800*600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1500*1200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Lens | 0.088X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma Mesafesi | 120MM |
| Geniş alan | Ø116mm (94x76) |
| Ölçüm doğruluğu | ±4um |