| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Çalışma aşaması seyahati | 355x125mm |
| X/Y ekseni seyahati | 200x120mm |
| Z ekseni | 110 mm |
| Ölçüm Doğruluğu | ≤3+l/200um |
| Kod# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1200*1000)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |
| Kod# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*500)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300MM |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Çalışma aşaması seyahati | 355x125mm |
| X/Y ekseni seyahati | 200x120mm |
| Z ekseni | 110 mm |
| Ölçüm Doğruluğu | ≤3+l/200um |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 529-120J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Yazıcı Dişli Grubu |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 529-120h |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | Yazıcı Dişli Grubu |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 529-120g |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200) mm |
| Z Eksen Seyahati | Yazıcı Dişli Grubu |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |
| Kod# | 525-020EP |
|---|---|
| Granit aşaması | (390*220) mm |
| Cam aşaması | (229.5*129.5) mm |
| X/Y Eksen Seyahati | (200*100) mm |
| Doğrusal ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 500-030 |
|---|---|
| Objektif | 0.3X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma mesafesi | 110 mm |
| Geniş alan | Ø30mm(28x24) |
| Ölçüm Doğruluğu | ±2um |