| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Granit Sahne | (310*220) mm |
| cam sahne | (179.5*129.5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100) mm |
| X/Y Doğrusal Ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Granit Sahne | (310*220) mm |
| cam sahne | (179.5*129.5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100) mm |
| X/Y Doğrusal Ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 521-420J |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (650*580) mm |
| Cam Tezgah | (540*440) mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (600*500) mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 528-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1mm |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1.2+L/200 ((um) |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 521-120G |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (458*358) mm |
| Cam Tezgah | (356*248)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 521-320F |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (408*308) mm |
| Cam Tezgah | (306*198)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (250*150)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 521-420E |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (270*350)mm |
| Cam Tezgah | (142*242)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (200*100) mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
