| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Granit Sahne | (310*220) mm |
| cam sahne | (179.5*129.5) mm |
| X/Y ekseni hareketi | (150*100) mm |
| X/Y Doğrusal Ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kod# | 525-180K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1000*1000)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Kod# | 521-120G |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (458*358) mm |
| Cam Tezgah | (356*248)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*1600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Kod# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 522-120H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 522-180H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-180J |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 522-280G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |