| Kod# | 523-280L |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (800*600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1000*800)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1500*1200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 521-320J |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (650*580) mm |
| Cam Tezgah | (540*440) mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Lens | 0.088X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma Mesafesi | 120MM |
| Geniş alan | Ø116mm (94x76) |
| Ölçüm doğruluğu | ±4um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Çalışma Sahnesi Seyahati | 355x125mm |
| X/Y Ekseni Hareketi | 200x120mm |
| Z ekseni | 110mm |
| Ölçüm doğruluğu | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Kod# | 522-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 521-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (608*470) mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |