| Kod# | 500-080 |
|---|---|
| Lens | 0.088X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma Mesafesi | 120MM |
| Geniş alan | Ø116mm (94x76) |
| Ölçüm doğruluğu | ±4um |
| Kod# | 525-120H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (605*450)mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y ekseni hareketi | (400*300)mm |
| Z ekseni hareketi | 200 mm |
| Kod# | 525-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (605*450)mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y ekseni hareketi | (400*300)mm |
| Z ekseni hareketi | 200 mm |
| Vimea322A | 524-220G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 500-031 |
|---|---|
| Ölçüm aralığı | 300x200x75mm |
| Minimum Birim | 0,1 mikron |
| Kapasite | 5 kg |
| Yüksek Hassasiyet Modu | 26x18mm |
| Kod# | 523-280K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (600*500) mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-480L |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (800*600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤1,8+L/200(um) |
| Kod# | 523-180M |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1500*1200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤3.0+L/200(um) |
| Kod# | 522-420G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,0+L/200(um) |
| Kod# | 525-180K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1000*1000)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
