| Kod# | 521-420J |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (650*580) mm |
| Cam Tezgah | (540*440) mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (500*400)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 500-030 |
|---|---|
| Lens | 0.3X Çift Telesantrik Lens |
| Çalışma Mesafesi | 110 mm |
| Geniş alan | Ø30mm(28x24) |
| Ölçüm doğruluğu | ±2um |
| Kod# | 523-280N |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1200*1000)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z ekseni Doğrusal ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |
| Kod# | 521-320H |
|---|---|
| Mermer Tezgah | (608*470) mm |
| Cam Tezgah | (456*348)mm |
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | Etkili seyahat 200mm |
| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | OtomatikVicky ZHV-WH0503 |
|---|---|
| Hedef | 10×, 40× |
| veri girişi | Otomatik |
| Küçük kule | Otomatik |
| Max. Maks. Height of Specimen Numune Yüksekliği | 170mm |
| Kod# | 823-170-2005 |
|---|---|
| yükleme sistemi | Otomatik |
| Motorlu XY Sahnesi | Boyutları U:180*G:140mm olan Mini-Adım Motoru |
| XY Aşaması İnme | 50X50mm |
| Minimum Adım | 0,625um |
| Kod# | 822-340AF |
|---|---|
| veri girişi | Otomatik |
| Küçük kule | Otomatik |
| Max. Maks. Height of Specimen Numune Yüksekliği | 90mm |
| Enstrüman Boğazı | 110mm |
| Kod# | 823-170-1010 |
|---|---|
| Sayısal giriş yöntemi | Oto |
| Lens ve Girinti Anahtarı | Otomatik Taret |
| Bekleme süresi | 1~60 ayarlanabilir |
| Yükleme Kontrolü | Otomatik |
