| Kod# | 525-020dp |
|---|---|
| Granit aşaması | (310*220) mm |
| Cam aşaması | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Eksen Seyahati | (150*100) mm |
| Doğrusal ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 525-020P |
|---|---|
| Granit aşaması | (310*220) mm |
| Cam aşaması | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Eksen Seyahati | (150*100) mm |
| X/Y Doğrusal Ölçekler | Çözünürlük: 0.5um |
| Kod# | 512-350 |
|---|---|
| Çalışma Sahnesi Boyutu | 355x126mm |
| Çalışma aşaması seyahati | 200x100mm |
| Odaklanma | 90 mm |
| Kesinlik | ≤3+L/200(um) |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Çalışma aşaması seyahati | 355x125mm |
| X/Y ekseni seyahati | 200x120mm |
| Z ekseni | 110 mm |
| Ölçüm Doğruluğu | ≤3+l/200um |
| Kod# | 542-310 |
|---|---|
| Çalışma aşaması seyahati | 355x125mm |
| X/Y ekseni seyahati | 200x120mm |
| Z ekseni | 110 mm |
| Ölçüm Doğruluğu | ≤3+l/200um |