| Kod# | 524-220H |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (400*300)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek（mm） | Çözünürlük: 0.5um |
| Tekrarlanabilirlik | 2um |
| Kod# | 525-180K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (1000*1000)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Kod# | 525-180X |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*1600)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
| Kod# | 525-380K |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (500*500)mm |
| Z Eksen Seyahati | 300 mm |
| X/Y/Z Eksen Doğrusal Ölçek | Çözünürlük: 0.1um |
| Yönlendirme Modu | Hızlı doğrusal rehber ray |
