| Code# | 525-020EP |
|---|---|
| Granite Stage | (390*220)mm |
| Glass Stage | (229.5*129.5)mm |
| X/Y Axis Travel | (200*100)mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Kod# | 502-120G |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Boyut(GxDxY) | (1237*740*1664)mm |
| Ağırlık | 380kg |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| Kod# | 529-120g |
|---|---|
| X/Y Eksen Hareketi | (300*200)mm |
| Z Eksen Seyahati | 200 mm |
| X/Y/Z 3 Eksenli Doğrusal Ölçek(mm) | Çözünürlük: 0.5um |
| XY Eksen Doğruluğu | ≤2,5+L/200(um) |